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工藝流程圖如下:配料--混合磨細--預燒--二次磨細--造粒--成型--排塑--燒結成瓷--外形加工--被電極--高壓極化--老化測驗。
一、配料:進行料前處理,除雜去潮,然後按配方份額稱量各種原材料,留意少量的添加劑要放在大料的中間。
二、混合磨細:意圖是將各種原料混勻磨細,爲預燒進行徹底的固相反響準備條件.一般採納幹磨或溼磨的辦法。小批量可採納幹磨,大批量可採納攪拌球磨或氣流粉碎的辦法,效率較高。
三、預燒:意圖是在高溫下,各原料進行固相反響,合成壓電陶瓷.此道工序很重要。會直接影響燒結條件及終究產品的功能。
四、二次細磨:意圖是將預燒過的壓電陶瓷粉末再細振混勻磨細,爲成瓷均勻功能一致打好根底。
五、造粒:意圖是使粉料形成高密度的流動性好的顆粒。辦法可以手工進行但效率較低,高效的辦法是採用噴霧造粒。此過程要參加粘合劑。
六、成型:意圖是將制好粒的料壓結成所要求的預製尺度的毛坯。
七、排塑:意圖是將制粒時參加的粘合劑從毛坯中除掉。
八、燒結成瓷:將毛坯在高溫下密封燒結成瓷。此環節相當重要。
九、外形加工:將燒好的製品磨加工到所需要的成品尺度。
十、被電極:在要求的陶瓷外表設置上導電電極。一般辦法有銀層燒滲、化學堆積和真空鍍膜。
十一、高壓極化:使陶瓷內部電疇定向擺放,從而使陶瓷具有壓電功能。
十二、老化測驗:陶瓷功能穩定後檢測各項指標,看是否達到了預期的功能要求。
壓電陶瓷的製作特點是在直流電場下對鐵電陶瓷進行極化處理,使之具有壓電效應。一般極化電場爲3~5kV/mm,溫度100~150°C,時刻5~20min。這三者是影響極化作用的主要因素。功能較好的壓電陶瓷,如鋯鈦酸鉛系陶瓷,其機電巧合係數可高達0.313~0.694。
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